據悉，青海省兩家多晶硅生產企業已基本實現了四氯化硅廢液的循環利用。

　　亞洲硅業(青海)有限公司目前每天產生四氯化硅271噸，通過高溫氫化處理全部轉化為三氯氫硅，整個生產實現閉環處理。青海黃河上游水電開發有限責任公司采用低溫氫化方法，將四氯化硅、氯化氫、氫氣與硅粉在500℃下反應產生三氯氫硅，實現了工藝裝置的循環閉路生產。

　　為避免廢液污染，采用將四氯化硅通過高溫氫化、低溫氫化或氯化氫的方法就地轉化為多晶硅生產的中間產品三氯氫硅，是解決四氯化硅循環利用變廢為寶的有效途徑。