據(jù)悉，青海省兩家多晶硅生產(chǎn)企業(yè)已基本實(shí)現(xiàn)了四氯化硅廢液的循環(huán)利用。

　　亞洲硅業(yè)(青海)有限公司目前每天產(chǎn)生四氯化硅271噸，通過高溫氫化處理全部轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，整個(gè)生產(chǎn)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)處理。青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司采用低溫氫化方法，將四氯化硅、氯化氫、氫氣與硅粉在500℃下反應(yīng)產(chǎn)生三氯氫硅，實(shí)現(xiàn)了工藝裝置的循環(huán)閉路生產(chǎn)。

　　為避免廢液污染，采用將四氯化硅通過高溫氫化、低溫氫化或氯化氫的方法就地轉(zhuǎn)化為多晶硅生產(chǎn)的中間產(chǎn)品三氯氫硅，是解決四氯化硅循環(huán)利用變廢為寶的有效途徑。