近日，中國科學院微電子研究所賈銳研究員帶領的高效太陽能電池研究團隊成功研制出國內首款異質結背接觸原型太陽能電池（2cm×2cm）。 

 

　　異質結背接觸(HIT-IBC)電池作為高端高效太陽能電池的一種，是國際上的研究熱點，也是未來太陽能電池產業化的重要組成部分。目前國際上相關研究及產業化工作進展迅速，除了歐洲外，韓國、日本等已于近兩年啟動了該款電池的研究計劃，在大投入和產業界的助推下，進展十分迅速。 

 

　　微電子研究所高效太陽能電池研究團隊利用先進的半導體工藝制造設備，以及自身設備研制開發的能力，在高效插指背結背接觸電池(Intergitated Back Contact Solar Cells, IBC)研究領域進行了深入的科研探索，有著深厚的積累。該團隊運用自行研制的漿料形成均勻發射極，成功研制出高效IBC電池，在此基礎上適時地推出了異質結背接觸電池研究計劃，該類電池充分結合了異質結電池高開路電壓和背接觸電池高短路電流實現優勢互補，從而大幅提高晶體硅電池的效率。 

 

　　此次研制成功的第一款異質結背接觸電池是基于n型4英寸晶圓(p型襯底采用了不同的技術方案)，通過傳統電池工藝如絲網印刷、PECVD沉積，并在必要步驟采用微電子光刻工藝輔助完成的。在異質結制備工藝中，采用了新型的鈍化方式和異質結制備工藝，形成了自己的研究特色，為后繼的產業化奠定了良好的基礎。 

 

　　目前，該研究團隊將新型鈍化和異質結形成技術已應用在n型襯底上，由于異質結的高開壓特性，使其得到的新型電池開路電壓達到了658mV，明顯大于常規晶體硅電池的開路電壓，同時還開發出了p型襯底電池工藝，這為我國異質結背接觸原型太陽能電池的研究奠定了良好的基礎。 

 

 

圖1：異質結背接觸太陽電池的實物照片 

 

　　

 

圖2：異質結背接觸太陽電池的截面結構圖