大日本網(wǎng)屏制造將與岐阜大學(xué)合作開(kāi)發(fā)太陽(yáng)能電池用微結(jié)晶硅薄膜的評(píng)測(cè)技術(shù),并基于共同研究成果,將于2009年底上市測(cè)定大型底板上形成的微結(jié)晶硅薄膜厚度的裝置。
大日本網(wǎng)屏制造自2008年7月正式開(kāi)展太陽(yáng)能電池相關(guān)業(yè)務(wù),此前已上市分光Ellipso式膜厚測(cè)定裝置。而岐阜大學(xué)2008年10月在“未來(lái)型太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)研究中心”內(nèi)新設(shè)了評(píng)測(cè)大型太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)的“太陽(yáng)能電池模塊評(píng)測(cè)技術(shù)研究開(kāi)發(fā)部門”。
此次的共同研究,將通過(guò)強(qiáng)化大日本網(wǎng)屏制造的分光Ellipso式膜厚測(cè)定裝置的功能,開(kāi)發(fā)可以正確測(cè)定原來(lái)難以實(shí)現(xiàn)的微結(jié)晶硅薄膜的膜厚和膜質(zhì)的技術(shù)。
微結(jié)晶硅薄膜是薄膜硅型太陽(yáng)能電池使用的一種薄膜。目前業(yè)界正在進(jìn)行將微結(jié)晶硅薄膜和非晶硅薄膜重疊以提高薄膜硅型太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的研究開(kāi)發(fā)。但微結(jié)晶硅薄膜存在成膜速度和膜質(zhì)難以兩全的問(wèn)題。
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