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日本電子株式會社 將展出硅熔煉6N電子槍

   2008-05-20 ne21臺北21世紀新能源16530

日本電子株式會社(JEOL)前身為日本通訊研究所,專業研發商業或工業用的精密機器,分電子光學、醫用儀器及半導體機器三大部門,開發全球第一座電子光學顯微鏡,研發能力獨步業界。

有鑒于半導體與太陽能產業正熱,全世界都在搶高純度的硅當原料,導致硅的價格居高不下。JEOL最新推出JEBG 直進形電子槍,其產生的電子束可用于硅熔煉,為太陽能的硅原料打開另一項源。JEBG電子槍用于硅熔煉的純度達到六個N,符合太陽能業界的純度需求。JEBG電子槍的特點是高能量、低污染,用強力磁場精準控制電子束的方向,維持直進路線,集中能量,以JEBG-3000UB電子槍為例,進行硅熔煉的最大能量為300kW。

同樣的原理,也可將電子束用于鍍膜工業,利用內部的真空設計,以電子束產生瞬間高溫、真空鍍膜的效果更好,且將鍍膜產生的有毒氣體封在內部,再用高溫自行分解有毒氣體,是低污染的鍍膜工業,日本國內已廣泛采用。JEBG電子槍可用于大型鍍膜,達1┫,幾乎100%的日本電漿電視的廠商都采用于液晶屏幕的鍍膜。

上述新產品將于2008臺北光電周展覽亮相,攤位號為精密光學展區的D340號。

 
標簽: 多晶硅
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