2013年10月12日，中科院前沿局組織專家在中科院嘉興對微電子所承擔的院知識創新工程重要方向項目“等離子體浸沒離子注入制備黑硅及太陽電池技術研究”進行了現場驗收。專家組由來自上海交通大學、中山大學、浙江大學、蘇州納米所等八家單位的專家組成。前沿局劉桂菊副局長、微電子所陳大鵬副所長、項目負責人夏洋研究員及項目組骨干等出席了會議，會議由前沿局技術科學處趙慧斌副處長主持。

該項目創新性地采用等離子體浸沒離子注入方法制備黑硅，制備的多晶硅片反射率低至1%（在可見光波段內），表面微觀結構和反射率可控。通過系統研究，研制的多晶黑硅電池轉換效率最高達18.3%。小批量試產表明工藝穩定。

專家組認真聽取了項目負責人的匯報，審閱了項目組提交的驗收材料，經過充分討論、質詢和評議后，一致同意該項目通過驗收，并對項目組取得的研究成果給予高度評價，認為該項目的完成將對現有晶硅太陽能電池生產線實現升級優化，提升我國太陽能電池裝備領域的技術水平，將為我國光伏產業進一步發展、升級提供必要的技術積累，具有前瞻性和深遠的戰略意義。