作者：李逸、雷鳴 （北京航空航天大學）

目錄

一、西門子法——中國多晶硅技術的零的突破。 1

二、峨半人的結晶——改良西門子法 2

三、改良西門子法的二次改良 4

氫化合成工藝：冷氫化可降低能耗，提高三氯氫硅利用率。 4

分解還原工藝：流化床將大幅度降低能耗。 5

四、硅烷法——電子能級的新出路 8

五、冶金法——太陽能級的新起點 9

六、總結 10

七、參考文獻 11

我們實踐隊通過采訪了解到現在多晶硅生產中的技術等問題，生產中的成本是多晶硅產業如何與國外競爭的根本問題，我們在東方電氣集團峨嵋半導體材料有限公司，峨眉半導體材料廠，研究所（以下簡稱“東氣峨半”）參觀工廠和車間時也有這種感悟，只有使用新技術，才能減少生產成本，才能從根本上減少成本，以適應多晶硅新環境。當我們了解了這些后，我們決定自己通過查閱參考資料來搜集新技術，結合我們的實踐來提出一點原來很少的東西，總結起來。變成我們自己的東西。我相信這份報告是獨一無二的。我們也是希望我們材料學子能更多的了解到這些傳統材料的現狀與發展。也能從中學習創新技術和改良技術的途徑。

東氣峨半采用的是改良法西門子技術，這些在接下來的文章里還會對技術進行詳盡的分析。我們從多晶硅生產的歷史來看技術，最后還將結合國外著名多晶硅企業進行綜合分析。