青海省科技廳組織有關專家對青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司承擔的青海省“123”科技支撐工程項目“多晶硅生產四氯化硅循環利用產業化技術”進行了驗收和成果鑒定。

該項目引進國外先進的氫化爐硅粉給料系統及反應器，在泡罩改造改善四氯化硅低溫氫化流化床氣體分布結構上進行再創新，通過對流化床阻力降、催化劑添加量、氫氣與四氯化硅的摩爾比等工藝條件上進行了優化，提高四氯化硅生產三氯氫硅的單程轉化率達到26%，大幅度的降低了多晶硅生產過程中四氯化硅的排放，實現了低能耗生產。該技術達到國內領先水平，可以在同行業內進行推廣，具有很強的應用創新性。目前，青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司生產三氯氫硅產能達到1250噸，2012年產值達到1.68億元，經濟效益明顯。