Edwards是干式真空泵浦系統(tǒng)的研發(fā)技術領導先驅，其技術適用于半導體及其他相關產(chǎn)業(yè)包括LED、平面顯示器、太陽能產(chǎn)品等產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)制造沉積制程，專門處理惡劣與腐蝕性的化學環(huán)境。

 

 

Edwards的干式泵浦解決方案和尾氣處理系統(tǒng)的運作不僅環(huán)保，而且十分具有經(jīng)濟效益。其干式泵浦如iXL 和 iXH系列可以有效地節(jié)能減碳。今年SEMICON Taiwan展場中新發(fā)表的iXL1000，是為電介質刻蝕及輕型應用所設計的新型干式真空泵浦， 相較于非常成功的同等級iGX/GX系列干式泵浦，它能再有效降低多達33%的耗電量。同樣的，Edwards的尾氣處理解決方案，也有類似的綠色環(huán)保特色，并能降低燃油消耗。

 

Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統(tǒng)正在被廣泛應用于臺灣的半導體及相關產(chǎn)業(yè)，當中包括臺灣所有主要的世界領先代工產(chǎn)業(yè)，Edwards在臺灣至今已經(jīng)安裝超過22,000臺干式和渦輪分子泵浦，以及3,000組尾氣處理系統(tǒng)。臺灣開創(chuàng)了外延片代工模式，在充滿挑戰(zhàn)的全球經(jīng)濟環(huán)境下，臺灣的外延片代工廠持續(xù)投資于領先的技術，并把組件尺寸縮少到在奈米尺寸制程。Edwards先進的干式泵浦技術和尾氣處理系統(tǒng)，在臺灣能成功將半導體制程跨入深次微米 (deep-submicron) 技術的過程中，扮演了重要的關鍵角色；同時在日益重要的化合物半導體生產(chǎn)領域等新興制程中，Edwards也能根據(jù)新開發(fā)的應用之特別需求，提供最適合的產(chǎn)品組合。

 

Edwards亞太區(qū)總裁 Neil Lavender-Jones指出：“Edwards在臺灣發(fā)揮了兩方面的作用。我們業(yè)界領先的干式泵浦技術，對現(xiàn)今半導體生產(chǎn)制程中所需的真空環(huán)境而言，絕對是關鍵的核心。Edwards幫助整個產(chǎn)業(yè)以低擁有成本獲得可靠、一致及節(jié)能的真空環(huán)境，并在維持高產(chǎn)量和高硅片“一次成功率”中發(fā)揮了重要作用。同樣重要的是，我們的尾氣處理系統(tǒng)確保了在這些制程中產(chǎn)生的高污染物質，包含可能加速全球暖化的氣體，將沒有任何機會擴散到自然環(huán)境里。對于Edwards公司來說，環(huán)保是企業(yè)的首要社會責任，我們始終不變的目標是將環(huán)境的碳足跡減到最少。”

 

2011年，Edwards客戶在全球各地的設備總共減少排放相當于8,500,000公噸的二氧化碳。Edwards將參與9月6日(星期四)在臺北世貿南港展覽館402A室，由SEMICON Taiwan 2012展會舉辦的綠色制程技術趨勢論壇，強調Edwards在環(huán)境管理中扮演的角色和肩負的責任。論壇主題是綠色生產(chǎn)制造的先進技術，真空產(chǎn)品業(yè)務經(jīng)理Mike Percy和資深產(chǎn)品經(jīng)理Jerome Boegner將會發(fā)表演說，題目為“真空和尾氣處理系統(tǒng)在能源和設備方面的節(jié)省優(yōu)勢” (時間為下午3:00到3:30)。

 

自1998年Edwards在臺灣設立以來，公司的規(guī)模已成長五倍，員工數(shù)從42名擴展至目前共有205名。2010年Edwards更加強對臺灣客戶的承諾，于苗粟縣竹南鎮(zhèn)設置一占地5,000平方米 的先進服務銷售中心，為顧客帶來更貼近的在地服務，并擴展各項服務的范圍。隨著Edwards在臺灣不斷的提供服務改進和支援，也吸引了眾多的客戶，在短短兩年內，公司在臺灣的服務業(yè)務已經(jīng)出現(xiàn)顯著的成長。

 

Edwards在亞洲深耕達四十年，現(xiàn)在與此區(qū)域各個頂尖的半導體制造商合作，提供整合式真空和尾氣處理解決方案，包括建置、管理、服務和支援。