2011年8月4日，SINGULUS技術(shù)公司宣布研制了一種新的電感耦合等離子體（ICP-PECVD）覆膜設(shè)備，該設(shè)備用于晶體硅太陽(yáng)能光伏組件的生產(chǎn)，將在第26屆德國(guó)漢堡的EU—PVSEC上展出。

2011年8月3日，該公司宣布其Silex濕法蝕刻工具的改進(jìn)，其采用無(wú)溶劑的處理方法可以大大降低光伏電池的生產(chǎn)成本。

該公司新推出的“Singular”是一個(gè)由數(shù)個(gè)真空室構(gòu)成的模塊化的工具，它使高效率的光伏電池制造過(guò)程更為靈活。 SINGULUS指出，改進(jìn)后的Silex系統(tǒng)避免了使用揮發(fā)性溶劑包括異丙醇（IPA）。

同時(shí)，該公司指出，這比傳統(tǒng)的蝕刻系統(tǒng)成本更低，使蝕刻液的壽命延長(zhǎng)了3倍并縮短蝕刻時(shí)間。新系統(tǒng)能夠達(dá)到每小時(shí)3000片的產(chǎn)量，廢品率小于0.05％。公司指出，第一臺(tái)機(jī)器已被一亞洲客戶買(mǎi)走，并已順利通過(guò)了最終驗(yàn)收測(cè)試。