10月31日，鑫華半導(dǎo)體總經(jīng)理田新在出席2018集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇時(shí)表示，協(xié)鑫電子級(jí)多晶硅已經(jīng)實(shí)現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定量產(chǎn)，生產(chǎn)制程穩(wěn)定，產(chǎn)品質(zhì)量全面達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。目前，產(chǎn)品已在國(guó)內(nèi)主流硅片廠商形成銷售，并開始向海外半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)企業(yè)拓展市場(chǎng)。

田新表示，經(jīng)過一年時(shí)間的試產(chǎn)、驗(yàn)證，鑫華目前已導(dǎo)入完成多種質(zhì)量管理工具，實(shí)現(xiàn)對(duì)電子級(jí)多晶硅的全面質(zhì)量管理。不僅產(chǎn)品指標(biāo)遠(yuǎn)超電子級(jí)多晶硅一級(jí)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，用于衡量制程管控能力的過程能力指數(shù)CPK也達(dá)到國(guó)際前列。產(chǎn)品按規(guī)格可以滿足低線寬制程12吋大硅片和各種COP-FREE長(zhǎng)晶技術(shù)的要求，并為客戶提供品質(zhì)和成本的多種平衡選擇。

半導(dǎo)體行業(yè)因?yàn)闃O高的技術(shù)含量，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量及其穩(wěn)定性有著苛刻的要求。作為集成電路產(chǎn)業(yè)的源頭，電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品的各項(xiàng)檢測(cè)參數(shù)不僅要達(dá)到技術(shù)規(guī)格線，其過程能力指標(biāo)更是品質(zhì)管控的重點(diǎn)。目前，電子級(jí)多晶硅企業(yè)普遍采用統(tǒng)計(jì)的方法輔助進(jìn)行質(zhì)量管控，將所有批次、全部制程的多晶硅產(chǎn)品指標(biāo)納入過程能力統(tǒng)計(jì)，其過程能力指數(shù)CPK要大于1.33。否則，多晶硅生產(chǎn)制程的不穩(wěn)定將對(duì)集成電路終端產(chǎn)品的應(yīng)用帶來(lái)無(wú)可避免的質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)。

田新在報(bào)告中指出，鑫華半導(dǎo)體依靠保利協(xié)鑫全球首屈一指的高純多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，不僅取得了穩(wěn)定的原料和公用介質(zhì)供應(yīng)，也有效提高了電子級(jí)純化系統(tǒng)的效率和能力上限。

目前，鑫華半導(dǎo)體已經(jīng)在多家芯片企業(yè)形成銷售，同時(shí)在部分硅片企業(yè)開展認(rèn)證工作，其中包括3家海外企業(yè)。田新表示，鑫華半導(dǎo)體的電子級(jí)多晶硅對(duì)于突破我國(guó)集成電路材料瓶頸，打破地區(qū)供應(yīng)的不平衡，支撐我國(guó)集成電路制造產(chǎn)業(yè)具有重要意義。