注：①每家硅片企業的標準都不一樣，僅供參考，②以下標準針對的硅片厚度為220μm。)

一、優等品

1：硅片表面光滑潔凈。

2：TV：220±20μm。

3：幾何尺寸：

邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm;

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm。

垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3。

二、合格品

一級品：

1：表面有少許污漬、輕微線痕。

2：220±20μm≤TV≤220±30μm。

3：幾何尺寸：

邊長125±0.5mm;對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm;

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。

垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5,cheapradiishoes。

二級品：

1：表面有少許污漬、線痕、凹痕，輕微崩邊。

2：220±30μm≤TV≤220±40μm。

3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。

4：崩邊范圍：崩邊口不是三角形狀，崩邊口長度≤1mm，深度≤0.5mm

5：幾何尺寸：

邊長125±0.52mm;對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;

邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm;

邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。

同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm。

垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8。

三級品：

1：表面有油污但硅片顏色不發黑，有線痕和硅落現象。

2：220±40μm≤TV≤220±60μm。

3：硅落：整張硅片邊緣硅晶脫落或部分硅晶脫落。

三、不合格品

嚴重線痕、厚薄片：TV>220±60μm。

崩邊片：有缺損但可以改Φ103的硅片。

氣孔片：硅片中間有穿孔。

外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。

倒角片(同心度)：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。

菱形片(垂直度)：任意兩邊的夾角>90°±0.8。

凹痕片：硅片兩面凹痕之和>30μm。

臟片：硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑。

尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。